高能光催化惡臭處理設備（等離子光催化）是一種新型、高效、具有很大發展前景的低濃度有機廢氣凈化技術，其主要凈化機理包含以下二個方面：

1、利用高能離子的強氧化性直接打開大多數有機物質的分子鍵，將高分子、聚合物等氧化為低分子、單體有機物質；

2、利用UV光催化劑和UV活性氧化離子的共同作用下將高能離子分解的產物進一步完全氧化為“二氧化碳”和“水”；

VOC廢氣首先通過等高能離子反應區，此區高壓交變電作用于凈化管，從而產生高能離子：“活性氧、氧離子（O-、O+）、氫氧基”，在與 VOC 大分子相接觸后打開其的化學鍵，經過一系列的反應后最終生成小分子有機物。

小分子有機無進入UV光催化反應區，通過采用UV-D波段內的真空紫外線（波長范圍160-200nm）裂解小分子有機物的化學鍵，使之裂解形成游離狀態的原子或基團（C*、H*、O*等）；同時通過裂解混合空氣中的氧氣，使之形成游離的氧原子并結合生成臭氧。具有強氧化性的臭氧（O3）與小分子VOC廢氣被裂解生成的原子發生氧化反應，形成H2O和CO2。

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